公開日：2020年05月10日 更新日：2024年10月07日
半導体製造装置（前工程）の課題を解決する
半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集
ウェハ洗浄装置
洗浄工程
部品の腐蝕を防止したい
薬品がかかる装置内には、その環境に耐えられる耐薬品性にすぐれたねじを選定することが必要です。
特殊ねじに求められる特性：耐薬品性
|
耐薬品性 |
耐熱性 |
非磁性 |
推奨商品 |
|
|---|---|---|---|---|
|
樹脂ねじ |
○ |
|||
|
SUS316Lねじ |
○ |
○ |
○ |
|
|
ハステロイ＊1相当ねじ |
○ |
○ |
||
|
セラミックねじ |
○ |
○ |
||
|
ベスペル＊2ねじ |
○ |
○ |
||
|
頭部PFAコーティングねじ |
○ |
|||
|
炭化ケイ素ねじ（SiC） |
○ | |||
|
タンタルねじ |
○ | |||
|
タングステンねじ |
○ | ○ |
＊1：ハステロイはヘインズ社の登録商標です。
＊2：VESPELおよびベスペルはデュポン社の登録商標です。
酸化拡散装置
熱処理・酸化拡散工程
高温・薬品に強い部品が欲しい
高温下、各種ガスを使用する環境には、耐熱性・耐薬品性にすぐれたねじを選定することが必要です。
特殊ねじに求められる特性：耐熱性 耐薬品性
|
耐熱性 |
耐薬品性 |
推奨商品 |
|
|---|---|---|---|
|
インコネル＊1相当ねじ |
○ |
○ |
|
|
ハステロイ＊2相当ねじ |
○ |
○ |
|
|
MAT21＊3ねじ |
○ |
＊1：インコネルはスペシャルメタルズ社の登録商標です。
＊2：ハステロイはヘインズ社の登録商標です。
＊3：MATおよびMAT21は株式会社プロテリアルの登録商標です。
コータ・デベロッパ
成膜工程
生産能力を向上したい
ウェハへのフォトレジスト膜生成の際に高速回転させるため、高剛性のカップリングが有効です。
カップリングに求められる特性：高剛性
|
推奨商品 |
|
|---|---|
|
ディスクカップリング |
|
|
フレキシブルカップリング |
部品の腐蝕を防止したい
薬品がかかる装置内には、その環境に耐えられる耐薬品性にすぐれたねじを選定することが必要です。
特殊ねじに求められる特性：耐薬品性
|
耐熱性 |
耐薬品性 |
推奨商品 |
|
|---|---|---|---|
|
インコネル＊1ねじ |
○ |
○ |
＊1：インコネルはスペシャルメタルズ社の登録商標です。
半導体露光装置
フォトリソグラフィ工程
装置の精度を向上したい
締結部の小さなねじでも、反射の影響をおさえることで、露光の精度向上を図ることができます。
特殊ねじに求められる特性：反射防止
|
反射防止 |
耐薬品性 |
かじり・焼きつき防止 |
推奨商品 |
|
|---|---|---|---|---|
|
低温黒色クロム処理ねじ |
○ |
○ |
○ |
|
|
ステンレスブラックねじ |
○ |
装置の剛性を高める部品を使用すれば、装置の応答性を向上できます。
駆動部品に求められる特性：高剛性
|
推奨商品 |
|
|---|---|
|
リニアガイド用クランプ機構 |
ステージの緊急停止用に最適なショックアブソーバがあります。
揮発性の少ないバイオオイルを使用しており、クリーン環境でもお使いいただけます。
|
推奨商品 |
|
|---|---|
|
高性能ショックアブソーバ |
エッチング装置
エッチング工程
高温・薬品に強い部品が欲しい
高温下、各種ガス・溶液を使用する環境には、耐熱性・耐薬品性にすぐれたねじが有効です。
特殊ねじに求められる特性：耐熱性 耐薬品性
|
耐熱性 |
耐薬品性 |
真空 |
非磁性 |
高強度 |
軽量 |
かじり・焼きつき防止 |
推奨商品 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
セラミックねじ |
○ |
○ |
||||||
|
カバーキャップ・セラミックねじ |
|
○ |
○ |
|||||
|
ハステロイ＊1ねじ |
○ | ○ |
SNSH-C22 ,SNSH-C276 SSHH-C22 |
|||||
|
SUS316Lねじ |
○ |
○ |
○ |
|||||
|
チタンねじ |
|
○ |
○ |
○ |
○ |
|||
|
表面硬化処理ねじ |
○ |
○ |
＊1：ハステロイはヘインズ社の登録商標です。
モータの破損を防止したい
真空可変コンデンサからの通電対策に、 絶縁性にすぐれた部品を使用することが必要です。
カップリングに求められる特性：絶縁性
|
推奨商品 |
|
|---|---|
|
真空可変コンデンサ用カップリング |
イオン注入装置
イオン打ち込み工程
真空度を高めたい
ねじ穴にたまった空気も抜けるようにすることで、さらに真空度を高くすることができます。
特殊ねじに求められる特性：真空
|
真空 |
推奨商品 |
|
|---|---|---|
|
ガス抜き穴つきねじ |
○ |
|
座金組み込みタイプ |
○ |
高温下でかじらないねじが欲しい
1000℃以上の環境下でヒートサイクルによるかじりを防止するねじがあります。
特殊ねじに求められる特性：耐熱性
|
耐熱性 |
かじり・焼きつき防止 |
推奨商品 |
|
|---|---|---|---|
|
特殊表面硬化処理ねじ |
○ |
○ |
|
|
タンタルねじ |
○ | SNSTA | |
|
タングステンねじ |
○ | SNCW |
装置の精度を向上したい
部品がもつ磁性でイオンが曲げられないように、締結部品においても非磁性の部品の使用が有効です。
特殊ねじに求められる特性：非磁性
|
非磁性 |
耐薬品性 |
高強度 |
軽量 |
推奨商品 |
|
|---|---|---|---|---|---|
|
りん青銅ねじ |
○ |
|
|
||
|
チタンねじ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
タンタルねじ |
○ | SNSTA |
成膜装置・スパッタリング装置
成膜工程
モータの破損を防止したい
真空可変コンデンサからの通電対策に、絶縁性にすぐれた部品を使用することが必要です。
カップリングに求められる特性：絶縁性
|
推奨商品 |
|
|---|---|
|
真空可変コンデンサ用カップリング |
高温・薬品に強い部品が欲しい
高温下、各種ガスを使用する環境には、耐熱性・耐薬品性にすぐれたねじが有効です。
特殊ねじに求められる特性：耐熱性 耐薬品性
|
耐熱性 |
耐薬品性 |
非磁性 |
高強度 |
軽量 |
推奨商品 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
|
セラミックねじ |
○ |
○ |
||||
|
SUS316Lねじ |
○ |
○ |
○ |
|||
|
モリブデンねじ |
○ |
|||||
|
ハステロイ＊1ねじ |
○ |
○ |
||||
|
ニッケルねじ |
○ |
○ |
||||
|
インコネル＊2ねじ |
○ |
○ |
||||
|
チタンねじ |
|
○ |
○ |
○ |
○ |
＊1：ハステロイはヘインズ社の登録商標です。
＊2：インコネルはスペシャルメタルズ社の登録商標です。
真空度を高めたい
ねじ穴にたまった空気も抜けるようにすることで、さらに真空度を高くすることができます。
特殊ねじに求められる特性：真空
|
真空 |
推奨商品 |
|
|---|---|---|
|
ガス抜き穴つきねじ |
○ |
密閉性を高めたい
装置内部の環境を維持するために、扉・カバー類の密閉性を高められる部品がおすすめです。
特殊ねじに求められる特性：真空
|
推奨商品 |
|
|---|---|
|
ドローラッチ |
|
コンプレッションラッチ |
|
ヒンジ |
物理的検査装置
検査評価工程
真空度を高めたい
ねじ穴にたまった空気も抜けるようにすることで、さらに真空度を高くすることができます。
特殊ねじに求められる特性：真空
|
真空 |
推奨商品 |
|
|---|---|---|
|
ガス抜き穴つきねじ |
○ |
検査精度をアップしたい
特殊ねじに求められる特性：非磁性
|
非磁性 |
耐熱性 |
耐薬品性 |
高強度 |
軽量 |
推奨商品 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
|
樹脂ねじ：PPS |
○ |
○ |
○ |
|||
|
チタンねじ |
○ |
|
○ |
○ |
○ |
|
|
りん青銅ねじ |
○ |
ねじのゆるみ、コンタミネーション対策をしたい
非磁性の材質で六角穴付きボルトのラインアップがあります。
六角穴付き形状は、すり割り溝や十字穴に比べてカムアウトしにくいため、コンタミネーションの発生を防ぐ効果が期待できます。
64チタンは強度も高いため、より大きなトルクで締結でき、ゆるみ対策としても有効です。
64チタン･りん青銅の六角穴付きボルトは、M2～ラインアップしています。
| 写真 |  |
 |
||
|---|---|---|---|---|
| 品名 | 高強度チタン 六角穴付きボルト |
りん青銅 六角穴付きボルト |
||
| 品番 | SNSTG |
SNSP |
||
| 材質 | 64チタン | C5191(りん青銅) | ||
| ねじの呼び | M2～M10 | M2～M8 | ||
電気的検査装置
検査評価工程
装置の精度を向上したい
サーボモーターの高ゲイン化を実現し、整定時間を短縮します。
駆動部品に求められる特性：高ゲイン対応
|
推奨商品 |
|
|---|---|
|
高減衰能ゴムカップリング |
装置の剛性を高めることで、検査スピードを向上できます。
駆動部品に求められる特性：高剛性
|
推奨商品 |
|
|---|---|
|
リニアガイド用クランプ機構 |
装置を小型化したい
S0.6〜、M1〜などM２.6以下の小径のねじがあります。
特殊ねじに求められる特性：省スペース
|
推奨商品 |
|
|---|---|
|
微細ねじ |
半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集
.jpg?awscf_publishdate=201511303613)
