公開日:2023年04月17日 更新日:2025年02月13日

半導体業界とNBKの取り組みについて

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半導体製造装置には、SEMI規格準拠商品や、半導体製造装置特有の真空・耐蝕環境などの課題を解決する品質面・機能面共に優れている商品が
求められます。

NBKは半導体製造装置特有の課題を解決できる商品の開発・販売に力を入れています。
標準品だけではなく、お客さまの課題に合わせたカスタマイズ品含めて、世界の半導体製造装置メーカ様にご採用いただいております。


課題解決と導入実績が豊富なNBKが、あなたの半導体製造装置の課題も解決します!

半導体製造装置の課題解決事例のご紹介

装置内部の課題解決事例
soutinai

半導体製造装置の内部の真空・高温・絶縁などのさまざまな課題を
解決した事例をご紹介!
真空チャンバ内でご採用いただいた事例もたくさんあります。

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装置外装部の課題解決事例
soutigai

半導体製造装置のSEMI規格準拠品や機能性を持った機械要素部品や特殊ねじをご紹介!
メンテナンス時の効率UPや装置組立時の生産性向上に貢献します。

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洗浄装置
senjo

ウェハ洗浄液がかかる装置内には、その腐食に耐えられる耐薬品性にすぐれたねじがおすすめです。

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エッチング装置
etting

高温下、各種ガス・溶液を使用する環境には、耐熱性・耐薬品性にすぐれたねじがあります。

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物理的検査装置
kensa

真空引きをサポートするねじがあります。また、非磁性の部品を使うことで精度を向上させることができます。

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ダイシングマシン
daising

装置の剛性UPや生産性向上のための部品を紹介しています。

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ワイヤーボンダ
waiya-

装置の軽量化や、ねじのゆるみ防止にお使いいただけるねじを紹介しています。

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マウンター
maunta-

サーボモータの性能を引き出すことができるカップリングや装置の軽量化につながるねじを紹介しています。

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半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集

 

semi-dl

特殊ねじ一覧はこちら

半導体製造における環境別課題解決事例

プロセスガス・ウェハ洗浄液を使う装置の腐蝕対策に
process-gas

半導体製造工程では、プロセスガスと呼ばれる特殊なガスや、不純物を取り除くための洗浄液が使われています。
プラズマガスを使うエッチング装置や成膜装置、洗浄液を使う洗浄装置やCMP装置で必要となる、耐薬品ねじをご紹介!

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電子ビーム・イオンを使う装置の磁性対策に
electron-beam

半導体製造装置の中には、電子ビームやイオンを使用する装置があります。
走査電子顕微鏡やイオン注入装置など、電子ビームやイオンに磁性の影響が出ない、非磁性のねじや工具をご紹介!

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真空環境でも使える部品を
vacuum-environment

半導体製造装置の多くに真空技術が使われています。
プラズマガスや電子ビームを使う装置で、真空引きをサポートする
真空ねじや低アウトガスのカップリングなどをご紹介!

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ヒートサイクル環境下での耐熱・ゆるみ止め
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多くの半導体製造装置で課題となっているヒートサイクルについて
解説しています。
耐熱・かじり防止などの課題をさまざまな商品で解決します。

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部品の脱落防止対策に
fall-prevention

装置の組立時やメンテナンス時に、ねじや座金の脱落でお困りでは
ありませんか?
部品の脱落防止に使える部品をご紹介!

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スループット向上のために
through-top

スループット向上のための、搬送スピード向上や、装置の小型化・
メンテナンス時間の短縮に役立つ商品を紹介しています。

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半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集

 

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特殊ねじ一覧はこちら

半導体製造装置に使用されているねじの一例


NBKは多種多様なカスタマイズができ、お客さまの課題に合わせたねじを1本から製作いたします。


カスタマイズ事例はこちら

カスタマイズ対応例
customization
耐薬品ねじ
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洗浄液やプラズマガスがかかる環境でもお使いいただけるねじがあります。


真空装置用ねじ
shinku-souti

真空チャンバなど、ガス抜き穴つきのねじで真空引きをサポートします。

特殊ねじ一覧
all-neji

NBKの特殊ねじを紹介しています。
カスタマイズ事例やねじの基礎の解説ページもあります。

低アウトガス
tei-outgass

真空環境においてアウトガスが発生しにくい商品をラインアップしています。



クリーン
clean

クリーンルームなどの環境でもすぐにお使いいただけるよう、クリーン洗浄・クリーン梱包済みの商品をラインアップしています。

高強度
koukyoudo

強度の高いねじを使うことで、ねじ径のサイズダウンや使用本数の削減による省スペース・軽量化が可能です。

耐熱
tainetu

純モリブデンやタングステン、セラミックなど高温環境に耐えられる材質のねじがあります。

非磁性
hijisei

チタン製の工具や、りん青銅のねじなど、非磁性の商品をラインアップしています。

かじり・焼きつき防止
kajiri

クリーン環境下で起きやすいかじりや焼きつきを防止できる、かじり防止ねじがあります。


半導体製造装置に使用されている機械要素部品の一例

ヒンジ

パネルの上下の開閉を補助するヒンジや、取りつけたままドアの取りつけ・取りはずしができるヒンジなどがあります。



ラッチ

扉が開いている状態が一目でわかるラッチや、ラッチングと締めつけが同時にできるラッチがあります。

取っ手

SEMI規格に準拠したステンレス製・アルミ製取っ手を多数ラインアップしています。

スクリュー
先端がセラミックボールのタイプなど、高温のウェハを保持可能なスクリューがあります。
モニターアーム・タブレットホルダ(画N固)
振動・重加重に耐えるディスプレイ用アームがあります。
DZUS(クイックアクセスファスナ)

パネルをスピーディーに締結する部品があります。メンテナンスの工数削減に有効です。

各種証明書の発行

NBKウェブサイトでは、各種証明書を簡単に発行できます。
該非判定書、EAR該非判定書、RoHS適合証明書、材質証明書の発行はこちら

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SEMI規格について
SEMI

SEMI規格について解説しています!
NBKにはSEMI規格準拠商品があり、用途にあわせてご選定いただけます。



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商品紹介 耐熱性・耐蝕性 クリーン・真空・非磁性 かじり・焼きつき防止 半導体製造装置 半導体業界とNBK 特殊ねじ
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