公開日：2022年06月21日 更新日：2024年02月04日
電子ビーム（電子線）・イオンを用いた半導体製造装置【第4回】
半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集
電子ビーム（電子線）・イオンを用いた装置
装置の代表例
・電子ビーム描画装置
・電子ビーム露光装置
・走査電子顕微鏡
・イオン注入装置
があげられます
これらの装置には、電子ビームやイオンに影響が出ないように、磁性の低い部材が多く使用されています。
また、電子ビームは空気中の分子と衝突しないように真空環境で使用されるため、
多くの装置が真空チャンバを有しています。
真空環境についてはこちらをご覧ください
・電子ビーム描画装置
・電子ビーム露光装置
・走査電子顕微鏡
・イオン注入装置
があげられます
これらの装置には、電子ビームやイオンに影響が出ないように、磁性の低い部材が多く使用されています。
また、電子ビームは空気中の分子と衝突しないように真空環境で使用されるため、
多くの装置が真空チャンバを有しています。
真空環境についてはこちらをご覧ください
NBKには非磁性の商品があります
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着磁を嫌う箇所には工具もあります。
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| 材質 | タンタル | C5191（りん青銅） | 64チタン | 純チタン | チタン | SUS316L |
| 代表品名 | 六角穴付きボルト （タンタル） |
りん青銅六角穴付きボルト | 高強度チタン六角穴付きボルト | チタン六角穴付きボルト | 高強度チタン十字穴付き皿小ねじ | 六角穴付き極低頭ボルト（ステンレス） |
| 代表品番 | SNSTA | SNSP | SNSTG | SNST | SNFTG | SSHL |
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着磁を嫌う箇所には工具もあります。
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| 材質 | 64チタン | CFRTP（炭素繊維強化熱可塑性樹脂） |
| 代表品名 | チタン六角レンチ | CFRTPモンキーレンチ |
| 代表品番 | SKHTG | SKMWCP-200 |
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