半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集

スループット向上

スループット向上は、ウェハの処理時間を短くすることも一つの方法ですが、
スペースあたりの生産量を多くすることも方法の一つとなります。

装置を小型化することで、1装置あたりの設置スペースが小さくなり、同じ工場サイズで
より多くの半導体を生産することが可能になります。

また、メンテナンス時間を短縮することで、生産時間を長くすることができます。
メンテナンス時の部品の脱落防止についてはこちらをご覧ください

NBKにはスループット向上に役立つ商品があります

ウェハ搬送スピード向上

XGファミリー
振動を抑制するカップリングがあります。

装置小型化

高強度
一般的なねじより強度の高い商品があります。
ねじ径のサイズダウンや本数削減による省スペース化が可能です。

材質	SUS316L	64チタン	SUS316L HiMo	SUS316L HiMo	PEEK GF30
代表品名	高強度ステンレス六角穴付きボルト	高強度チタン六角穴付きボルト	高強度ステンレス六角穴付きボルト	高強度ステンレス六角穴付きボルト	樹脂ねじ（PEEK GF30 / 六角穴付きボルト）
代表品番	SNSLG	SNSTG	SNSX-88	SNSX-109	SPEG-C
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低頭・小頭ねじ

材質	SUSXM7 (SUS304相当)	SUSXM7 (SUS304相当)	SUSXM7 (SUS304相当)	SUSXM7 (SUS304相当)	SUSXM7 (SUS304相当)
代表品名	六角穴付き低頭ボルト（SUSXM7製）	六角穴付き極低頭ボルト（ステンレス）	ヘクサロビュラ穴付き超極低頭ボルト	六角穴付き小頭ボルト	六角穴付き極低頭小頭ボルト
代表品番	SLHS	SSHS	SETS	SNSS-SD	SSHS-SD
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微細・小径ねじ
M3以下のねじのラインアップが豊富にあり、装置小型化に貢献します。

材質	SUSXM7 (SUS304相当)	C5191（りん青銅）	純チタン	-	SUS316L
代表品名	精密機器用なべ小ねじ	りん青銅六角穴付きボルト	チタン精密機器用なべ小ねじ	高強度チタン六角穴付きボルト	六角穴付きボルト
代表品番	SNZS-M	SNSP	SNZT	SNSTG	SNSL
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狭所作業用工具
高さ方向の寸法を抑えた工具があります。
通常のドライバ・レンチが使えない箇所で作業できるため、周辺部品をはずすなどの工数を削減できます。
作業スペースを小さくできるため、装置・機器などの構造をコンパクトにできます。

代表品名	狭所作業対応プレートドライバ	狭所作業対応ヘクサロビュラレンチ	狭所作業対応ビットラチェットハンドルセット
代表品番	SKND	SKX-N	SKNBR-6.35-8SET
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メンテナンス時間短縮

DZUS
パネルをスピーディに締結する部品です。
スタッドを1/4回転させるだけで、簡単に素早く、強固に締結できます。
激しい振動に対しても、ゆるみません。

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半導体製造工程別の課題解決事例

半導体製造工程別の課題解決事例を紹介します。
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