公開日：2020年05月10日 更新日：2024年01月25日
半導体製造装置（後工程）の課題を解決する
半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集
ダイシングマシン
ダイシング工程
生産性を向上したい
高強度な部品、装置の剛性を高める部品を使用し、装置の応答性を向上できます。
サーボモーターの高ゲイン化を実現し、整定時間を短縮します。
駆動部品に求められる特性：高ゲイン対応
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推奨商品 |
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高減衰能ゴムカップリング |
装置の剛性を高めることで、検査スピードを向上できます。
駆動部品に求められる特性：高剛性
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推奨商品 |
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リニアガイド用クランプ機構 |
装置の精度を向上したい
熱膨張が少なく、寸法変化が小さいねじが有効です。
特殊ねじに求められる特性：低膨張
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推奨商品 |
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スーパーインバーねじ |
振動による部品のゆるみを防止したい
高強度なねじは、通常のねじに比べ、高い締結力が得られるため、ゆるみ防止に効果があります。
特殊ねじに求められる特性：高強度
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高強度 |
耐熱性 |
耐薬品性 |
非磁性 |
推奨商品 |
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高強度ステンレスねじ |
○ |
○ |
○ |
○ |
ダイボンダー
マウント工程
高速ボンディングの実現に
サーボモーターの高ゲイン化を実現し、整定時間を短縮します。
カップリングに求められる特性：高ゲイン対応
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推奨商品 |
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高減衰能ゴムカップリング |
振動による部品のゆるみ防止に
高強度なねじは、通常のねじに比べ、高い締結力が得られるため、ゆるみ防止に効果があります。
特殊ねじに求められる特性：高強度
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高強度 |
耐薬品性 |
非磁性 |
軽量 |
推奨商品 |
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チタンねじ |
○ |
○ |
○ |
○ |
ワイヤボンダー
ボンディング
高速ボンディングの実現に
サーボモーターの高ゲイン化を実現し、整定時間を短縮します。
カップリングに求められる特性：高ゲイン対応
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推奨商品 |
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高減衰能ゴムカップリング |
装置を軽量化し動力負荷を軽減できる商品があります。
特殊ねじに求められる特性：軽量 省スペース
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軽量 |
高強度 |
耐薬品性 |
非磁性 |
省スペース |
推奨商品 |
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チタンねじ |
○ |
○ |
○ |
○ |
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微細ねじ |
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○ |
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低頭ねじ |
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○ |
振動による部品の脱落・ゆるみ防止に
振動でゆるんだねじが脱落しないように、脱落防止機構つきのねじの使用がおすすめです。
特殊ねじに求められる特性：脱落防止
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推奨商品 |
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脱落防止ねじ |
高強度なねじは、通常のねじに比べ、高い締結力が得られるため、ゆるみ防止に効果があります。
部品に求められる特性：高強度
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高強度 |
耐熱性 |
耐薬品性 |
非磁性 |
推奨商品 |
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SUS316L |
○ |
○ |
○ |
○ |
実装機
マウンティング工程
高速ボンディングの実現に
サーボモーターの高ゲイン化を実現し、整定時間を短縮します。
カップリングに求められる特性：高ゲイン対応
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推奨商品 |
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高減衰能ゴムカップリング |
装置を軽量化して動力負荷を軽減できる商品があります。
特殊ねじに求められる特性：軽量
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高強度 |
耐薬品性 |
非磁性 |
軽量 |
推奨商品 |
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チタンねじ |
○ |
○ |
○ |
○ |
半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集
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