更新日：2025年11月25日
ヒートサイクルとは【第7回】
半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集
ヒートサイクルとは
半導体製造装置の内部は、装置により500～1000度の高温になるものがあります。
イオン注入装置のイオン発生源や、露光装置の光源など。
また、成膜装置やエッチング装置なども、ウェハを処理する際には200～400度まで上がるものもあります。
このような装置において、温度変化をくり返すことをヒートサイクルと言います。
イオン注入装置のイオン発生源や、露光装置の光源など。
また、成膜装置やエッチング装置なども、ウェハを処理する際には200～400度まで上がるものもあります。
このような装置において、温度変化をくり返すことをヒートサイクルと言います。
NBKには高温環境・ヒートサイクルの対策で使用できるねじがあります。
＜高温環境＞高温環境でもご使用いただけるねじがあります。
タングステンは融点3683℃、純モリブデンは融点2623℃と高融点材料です。
その他の材質については、お問い合わせください。
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| 材質 | タングステン | タンタル | インコネル | 純モリブデン | 炭化ケイ素（SiC） | Al2O3 (アルミナ99.5%) |
ベスペル SP-1 |
| 代表品名 | すりわり付きチーズ小ねじ （タングステン） |
六角穴付きボルト（タンタル） | 六角穴付きボルト(インコネル相当) | モリブデン六角穴付きボルト | すりわり付き平小ねじ （炭化ケイ素） |
セラミックボルト | 樹脂ねじ（ベスペルSP-1 / 六角穴付きボルト） |
| 代表品番 | SNCW | SNSTA | SNSI | SNSM | SICX-SX | SCX-C | SPD-C |
| ラインアップはこちら |
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＜高温+真空環境＞
耐熱の素材に真空装置用ガス抜き穴加工を施しています。
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| 材質 | インコネル | 純モリブデン |
| 代表品名 | 六角穴付きボルト（インコネル相当 / ガス抜き穴つき） | モリブデン六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき） |
| 代表品番 | SVSI | SVSM |
＜かじり防止＞
ヒートサイクル環境下、かじり・焼きつきにくいねじがあります。
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| 材質 | SUS316L | SUS316L | SUSXM7（SUS304相当） | SUS316L （PTFEコーティング） |
SUS316L （低温黒色クロム処理） |
SUSXM7（SUS304相当） | SUSXM7（SUS304相当） |
| 代表品名 | 六角穴付きボルト（SUS316L/表面硬化処理） | 六角穴付きボルト(ガス抜き穴つき / 表面硬化処理) | 六角穴付きボルト（二硫化モリブデンコーティング） | 高強度ステンレス六角穴付きボルト（PTFEコーティング） | 高強度ステンレス六角穴付きボルト（低温黒色クロム処理） | 六角穴付きボルト（金コーティング） | 六角穴付きボルト（フッ素コーティング） |
| 代表品番 | SNSL-PN | SVSL-PN | SNSS-MO | SNSLG-TF | SNSLG-RY | SNSS-AUS | SNSS-FC |
| ラインアップはこちら |
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| 材質 | SUS316L | SUS316L | SUS316L | SUS316L |
| 代表品名 | 高強度ステンレス六角穴付きボルト（表面硬化処理） | 高強度ステンレス六角穴付きボルト（ガス抜き穴つき/表面硬化処理） | 高強度ステンレス六角穴付きボルト（クリーン洗浄・クリーン梱包済み） | 高強度ステンレス六角穴付きボルト（ガス抜き穴つき/銀メッキ） |
| 代表品番 | SNSLG-PN | SVSLG-PN | SNSLG-UCL | SVSLG-AG |
| ラインアップはこちら |
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＜ゆるみ防止＞
座金組込みタイプのねじがあります。ばね座金で熱膨張を吸収し、ゆるみにくくなります。
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| 材質 | SUSXM7 （SUS304相当） |
SUS316L | SUS316L | SUSXM7 （SUS304相当） |
SUSXM7 （SUS304相当） |
| 代表品名 | 座金組込み六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき） |
座金組込み高強度ステンレス六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき） |
座金組込み高強度ステンレス六角穴付きボルト | 座金組込み六角穴付きボルト（I=3） | 座金組込みなべ小ねじ（I=3） |
| 代表品番 | SVSQS | SVSQLG | SNSQLG | SNSQS | SNPI3S |
| ラインアップはこちら | |||||
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| 材質 | TW340 （チタン2種） |
SUS304相当 | SUS304相当 | SUSXM7 （SUS304相当） |
SUSXM7 （SUS304相当） |
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| 代表品名 | チタン座金組込み六角穴付きボルト（I=3） | 座金組込六角ボルト（P=2） | 座金組込六角ボルト（P=3） | 座金組込み六角穴付きボルト （薄板固定用） |
座金組込み十字穴付きなべ小ねじ （薄板固定用） |
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| 代表品番 | SNSI3T | SNHP2S | SNHP3S | SNSQS-SUC | SNPI3S-SUC | |
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