公開日：2022年11月15日更新日：2025年03月26日

半導体製造装置の部品の脱落防止について【第9回】

半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集

部品の脱落

半導体製造装置の内部は非常に複雑に作られています。
装置組立時やメンテナンス時に、ねじ1本・座金1個でも装置の内部に落としてしまうと
装置の品質を担保するため、見つかるまで探す必要があると聞きます。

NBKにはねじや座金の落下・脱落を防止できる商品があります

ねじ保持機能つき工具

工具の先でねじを保持することができる六角ドライバ、六角ソケットです。
つかみにくい微細ねじや、手が届かない奥まった箇所へのねじの取りつけ・取りはずしが簡単にできます。

組み合わせ


代表品名	六角ドライバ(ねじ保持機能つき)	六角ソケット(ねじ保持機能つき)
代表品番	SKCD	SKCK

座金組込み

あらかじめ座金が組み込まれていますので、組み立て時・メンテナンス時に座金が落ちる心配がありません。


材質	SUSXM7 (SUS304相当)	SUS316L	SUS316L	SUSXM7 (SUS304相当)	SUSXM7 (SUS304相当)	SUSXM7 (SUS304相当)	SUSXM7 (SUS304相当)
代表品名	座金組込み六角穴付きボルト（ガス抜き穴つき）	座金組込み高強度ステンレス六角穴付きボルト（ガス抜き穴つき）	座金組込み高強度ステンレス六角穴付きボルト	座金組込み六角穴付きボルト（I=3）	座金組込みなべ小ねじ（I=1）	座金組込みなべ小ねじ（I=3）	平座金組込み真空ボルト（ガス抜き穴つき）（I=1）
代表品番	SVSQS	SVSQLG	SNSQLG	SNSQS	SNPI1S	SNPI3S	SVSI1S
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材質	TW340（チタン2種）	TW340（チタン2種）	SUS304相当	SUS304相当
代表品名	チタン座金組込み六角穴付きボルト（I=1）	チタン座金組込み六角穴付きボルト（I=3）	座金組込六角ボルト（P=2）	座金組込六角ボルト（P=3）
代表品番	SNSI1T	SNSI3T	SNHP2S	SNHP3S
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脱落防止ねじ、ワッシャー

脱落防止ねじは、ねじをフレームから取りはずしても、脱落防止ねじがカバーのねじ穴に引っかかるため、
脱落防止ねじがカバーから抜け落ちない構造になっています。

脱落防止ワッシャーは、カバーに取りつけたねじをフレームからはずしたとき、ねじが抜け落ちることがありません。

SWAS-SC例


材質	SUS316L	高強度チタン	高強度ステンレス	SUS316L	SUS316L	ステンレス	ステンレス
代表品名	六角穴付き脱落防止ねじ	高強度チタン六角穴付き脱落防止ねじ	高強度ステンレス六角穴付き脱落防止ねじ	六角穴付き低頭脱落防止ねじ	十字穴付き脱落防止トラス小ねじ	脱落防止ワッシャ	脱落防止ワッシャセット
代表品番	SSC-SNSL	SSC-SNSTG	SSC-SNSLG	SSC-SLHL	SSCML	SWAS-SC	SSC-SET
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