更新日：2025年10月28日
半導体製造装置の部品の脱落防止について【第9回】
半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集
部品の脱落
半導体製造装置の内部は非常に複雑に作られています。
装置組立時やメンテナンス時に、ねじ1本・座金1個でも装置の内部に落としてしまうと
装置の品質を担保するため、見つかるまで探す必要があると聞きます。
装置組立時やメンテナンス時に、ねじ1本・座金1個でも装置の内部に落としてしまうと
装置の品質を担保するため、見つかるまで探す必要があると聞きます。
NBKにはねじや座金の落下・脱落を防止できる商品があります
ねじ保持機能つき工具
工具の先でねじを保持することができる六角ドライバ、六角ソケットです。つかみにくい微細ねじや、手が届かない奥まった箇所へのねじの取りつけ・取りはずしが簡単にできます。
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| 代表品名 | 六角ドライバ(ねじ保持機能つき) | 六角ソケット(ねじ保持機能つき) |
| 代表品番 | SKCD | SKCK |
座金組込み
あらかじめ座金が組み込まれていますので、組み立て時・メンテナンス時に座金が落ちる心配がありません。
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| 材質 | SUSXM7 (SUS304相当) | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (SUS304相当) | SUSXM7 (SUS304相当) | SUSXM7 (SUS304相当) | SUSXM7 (SUS304相当) |
| 代表品名 | 座金組込み六角穴付きボルト（ガス抜き穴つき） | 座金組込み高強度ステンレス六角穴付きボルト（ガス抜き穴つき） | 座金組込み高強度ステンレス六角穴付きボルト | 座金組込み六角穴付きボルト（I=3） | 座金組込みなべ小ねじ（I=1） | 座金組込みなべ小ねじ（I=3） | 平座金組込み真空ボルト（ガス抜き穴つき）（I=1） |
| 代表品番 | SVSQS | SVSQLG | SNSQLG | SNSQS | SNPI1S | SNPI3S | SVSI1S |
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| 材質 | TW340（チタン2種） | TW340（チタン2種） | SUS304相当 | SUS304相当 |
| 代表品名 | チタン座金組込み六角穴付きボルト（I=1） | チタン座金組込み六角穴付きボルト（I=3） | 座金組込六角ボルト（P=2） | 座金組込六角ボルト（P=3） |
| 代表品番 | SNSI1T | SNSI3T | SNHP2S | SNHP3S |
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脱落防止ねじ、ワッシャー
脱落防止ねじは、ねじをフレームから取りはずしても、脱落防止ねじがカバーのねじ穴に引っかかるため、脱落防止ねじがカバーから抜け落ちない構造になっています。
脱落防止ワッシャーは、カバーに取りつけたねじをフレームからはずしたとき、ねじが抜け落ちることがありません。
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| 材質 | SUS316L | 高強度チタン | 高強度ステンレス | SUS316L | SUSXM7 | SUSXM7 | ステンレス |
| 代表品名 | 六角穴付き脱落防止ねじ | 高強度チタン六角穴付き脱落防止ねじ | 高強度ステンレス六角穴付き脱落防止ねじ | 六角穴付き低頭脱落防止ねじ | 六角穴付き脱落防止ねじ（ガス抜き穴つき） | フランジ付き六角穴付き脱落防止ねじ | 脱落防止ワッシャ |
| 代表品番 | SSC-SNSL | SSC-SNSTG | SSC-SNSLG | SSC-SLHL | SSC-SVSS | SSC-SFSS | SWAS-SC |
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| 材質 | ステンレス |
| 代表品名 | 脱落防止ワッシャセット |
| 代表品番 | SSC-SET |
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半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集
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