半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集

真空の区分

NBKには真空環境での使用に最適な商品があります

真空装置用ねじ

ねじ穴の底やキリ穴に溜まったガスの真空引きをサポートできるねじ・座金があります。NBKの真空装置用ねじのガス抜き穴は金属組織への影響が少ない方法で加工しています。
使用時における脆性破壊や真空環境下でのアウトガスの発生を抑えます。

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・低アウトガス
特殊化学研磨処理により、表面粗さを改善。アウトガスが極微量です。

材質	SUSXM7 (SUS304相当)	チタン
代表品名	六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき）	チタン六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき）	六角穴付き極低頭ボルト （チタン / ガス抜き穴つき）	チタン十字穴付き皿小ねじ （ガス抜き穴つき）	六角穴付き極低頭小頭ボルト（チタン / ガス抜き穴つき）	チタン座金組込み六角穴付きボルト	チタン座金組込み六角穴付きボルト
代表品番	SVSS-PC	SVST	SVSHT	SVFT	SVSHT-SD	SNSI1T	SNSI3T
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・さまざまな材質
耐蝕性が高いインコネル(相当)やハステロイ(相当)、非磁性のチタンなど、幅広いラインアップがあります。

材質	SUS304･SUSXM7 （SUS304相当)			SUS316L
代表品名	六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき）	六角ボルト （ガス抜き穴つき）	六角穴付き止めねじ (ガス抜き穴つき)	六角穴付きボルト （SUS316L / ガス抜き穴つき）	座金組込み高強度ステンレス 六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき）	六角穴付き極低頭ボルト （SUS316L / ガス抜き穴つき）
代表品番	SVSS	SVHS	SVTS	SVSL	SVSQLG	SVSHL
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材質	インコネル相当	純モリブデン	ハステロイ相当		アルミ	チタン
代表品名	六角穴付きボルト （インコネル相当 / ガス抜き穴つき）	モリブデン六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき）	六角穴付きボルト （ハステロイ C-22相当 / ガス抜き穴つき）	六角穴付きボルト （ハステロイ C-276相当 / ガス抜き穴つき）	アルミ六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき）	チタン六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき）
代表品番	SVSI	SVSM	SVSH-C22	SVSH-C276	SVSA	SVST
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・さまざまな形状
低頭ボルトや座金組込みタイプ、クランピングスクリューなど幅広いラインアップがあります。

形状例	極低頭ボルト	脱落防止ねじ	フランジつき	六角支柱	クランピングスクリュー	座金組込み	座金
代表品名	六角穴付き極低頭ボルト （ガス抜き穴つき）	六角穴付き脱落防止ねじ（ガス抜き穴つき）	フランジ付き六角穴付きボルト（ガス抜き穴つき）	六角支柱 （ガス抜き穴つき）	クランピングスクリュー （ガス抜き穴つき）	座金組込み高強度ステンレス六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき）	座金（ガス抜き溝つき）
代表品番	SVSHS	SSC-SVSS	SVFSS	SHVAS	SCSS-VR	SVSQLG	SWAS-VF
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・かじり、焼きつき対策
かじり・焼きつき対策に最適な商品があります。

材質	SUS316L	SUSXM7(SUS304相当)	SUSXM7(SUS304相当)	SUS316L	SUS316L
代表品名	六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき/ 表面硬化処理）	六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき/ 二硫化モリブデンショット）	六角穴付きボルト （ガス抜き穴つき/ 銀メッキ）	高強度ステンレス六角穴付きボルト（ガス抜き穴つき/表面硬化処理）	高強度ステンレス六角穴付きボルト（ガス抜き穴つき/銀メッキ）
代表品番	SVSL-PN	SVSS-MOS	SVSS-AG	SVSLG-PN	SVSLG-AG
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こちらで、かじり・焼きつきについて解説しています

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半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集

低アウトガス商品

真空装置用ねじ以外にも、低アウトガスのねじ・カップリングがあります。
・ねじ

材質	SPD-C	SPDC-H	SPE-C
代表品名	ベスペル SP-1	ベスペル SCP-5000	PEEK
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・カップリング

クリーンルーム、真空中、高温（80℃以上）などの特殊環境に使用できるカップリングをご用意しています。

タイプ	スリット			オルダム		ディスク
写真
品番	XSTS	XWSS	MSXP	MOHS	MOP	XBWS＊	XBSS＊
材質	SUS316L	SUS316L	PEEK	SUS303 べスペル＊＊ SUSXM7	A2017 PEEK SUSXM7	SUS303 SUSXM7	SUS303 SUSXM7
洗浄方法	超音波洗浄	超音波洗浄	超音波洗浄	超音波洗浄	超音波洗浄	超音波洗浄＊	超音波洗浄＊
低パーティクル	◎	◎	◎	△	△	○	○
真空対応	○	○	○	◎	◎	○	○
低アウトガス	○	○	○	○	○	○	○
耐熱	○	○	○	◎	◎	○	○
耐薬品	◎	◎	◎	○	○	○	○
バックラッシュ0	◎	◎	◎			◎	◎
高トルク	○	○				○	○
高ねじり剛性						◎	◎
許容 ミスアライメント	○		○	◎	◎	○	○

◎:非常に優れている　○:すぐれている　△:摩耗粉が発生する可能性があります。
＊XBWS XBSS は未洗浄品です。ご要望によりクリーン洗浄・クリーン梱包できます。
＊＊ベスペルは米国デュポン社の登録商標です。

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真空環境に最適な機械要素部品

・ラッチ
気密性を守る、堅牢なデザインのラッチがあります。
梃子の動作を利用し、しっかりとガスケットを押しつぶしながらラッチングすることができます。
気密性の高い扉にもご使用いただけます。・扉を開ける際、内圧により扉を開けるのに力が必要な場合でも梃子の動作を利用し、簡単に扉を開くことができます
・ラッチとキーパーの取りつけは、扉に穴をあけてはめ込むのではなく、扉の前面にねじ止めするので、穴をあける必要がありません。
そのため、気密性を保つことが可能です。

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・ヒンジ
真空チャンバの蓋など、重たいパネルの上下の開閉を、トーションばねの作用により補助します。 商品詳細はこちら

クリーン洗浄・クリーン梱包サービス

そのまま真空チャンバ内やクリーンルームでご使用いただけるよう、クリーン洗浄・クリーン梱包ができます。

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