形状図
寸法・CAD・価格
単位 : mm
| 品番 | M(細目) ねじの呼び |
ピッチ | H | D1 | h | B | tB | 推奨 締めつけトルク (N・m) |
適用カバー キャップ用ボルト SNCPS |
質量 (g) |
価格 (円/個) |
税込 価格 |
CAD ダウンロード |
数量(個) | 在庫/非在庫 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCAP-3-CE | M5 | 0.5 | 6 | 9 | 2 | 7 | 3 | 0.1 | SNCPS-M3 | 1.2 | 3,820 | 4,202 | CAD | カート | 在庫品 |
| SCAP-4-CE | M6 | 0.75 | 8 | 10 | 2.8 | 8 | 3 | 0.15 | SNCPS-M4 | 2 | 4,000 | 4,400 | CAD | カート | 在庫品 |
| SCAP-5-CE | M8 | 0.75 | 9 | 12 | 3.5 | 9 | 3 | 0.3 | SNCPS-M5 | 3 | 4,370 | 4,807 | CAD | カート | 在庫品 |
| SCAP-6-CE | M10 | 0.75 | 10 | 14 | 4 | 11 | 4 | 0.4 | SNCPS-M6 | 4.3 | 4,920 | 5,412 | CAD | カート | 在庫品 |
| SCAP-8-CE | M12 | 1 | 11 | 16 | 5 | 13 | 4 | 0.6 | SNCPS-M8 | 5.8 | 5,640 | 6,204 | CAD | カート | 在庫品 |
| SCAP-10-CE | M16 | 1 | 12 | 20 | 6 | 17 | 4 | 0.8 | SNCPS-M10 | 9.2 | 6,380 | 7,018 | CAD | カート | 在庫品 |
●同一サイズを複数でご注文の場合は、まとめてクリーン梱包します。
材質・仕上げ
| SCAP-CE カバーキャップ |
|
|---|---|
| 本体 | Al2O3 （アルミナ99.5％） |
用途
成膜装置/エッチング装置/FPD製造装置/半導体製造装置特長
- カバーキャップSCAPとカバーキャップ用ボルトSNCPSを組み合わせて使用してください。
- 真空チャンバー内の処理ガスやプラズマからボルト頭部の腐蝕を防止します。
-
SCAPはアルミ合金製とセラミック製を標準化。
SCAP-AL----アルミ合金製
SCAP-CE----セラミック製 - ねじ締結部はステンレス製のため、アルミやセラミックのねじと比べて高い締めつけ力が得られます。
- クリーン洗浄・クリーン梱包済み。⇒クリーン洗浄・クリーン梱包サービス
- インコネル＊1・ハステロイ＊1など、ご希望の材質のカバーキャップも製作いたします。
＊1： インコネルはスペシャルメタルズ社の登録商標です。
＊1： ハステロイはヘインズ社の登録商標です。
使用上の注意
耐蝕性は使用条件により変化します。事前に必ず実際と同じ使用条件でテストしてください。使用方法
カバーキャップ用ボルトSNCPSを締めつけた後、カバーキャップSCAPをSNCPSの頭部をカバーするように取りつけてください。SCAPの締めつけトルクは、表中の推奨締めつけトルクを超えないようにしてください。
