公開日：2026年08月19日
CVD熱処理装置のユニット停止時の衝撃をやわらげたい
なめらかにエネルギーを吸収できる高性能ショックアブソーバがあります
課題
CVD熱処理装置では、搬送ユニットや昇降ユニットなどの可動部が停止する際に衝撃が発生します。この衝撃が大きいと、装置の振動や位置ずれ、周辺部品への負荷につながり、長期的には装置寿命やメンテナンス頻度に影響するおそれがあります。
このような用途には、なめらかにエネルギーを吸収できる高性能ショックアブソーバ PAE が適しています。
独自の構造により衝撃をやわらかく吸収し、装置本体や周辺部品にかかる負荷を低減。装置の安定稼働や長寿命化に貢献します。 また、PAEはバイオオイルを使用しているため、クリーンルーム内でも使用できます。
半導体製造装置など、クリーン環境で使用される装置にも採用しやすいショックアブソーバです。
さらに、ベローズカバー付きタイプを選択することで、パワーストップ内部への粉塵や液体の侵入を防止できます。
CVD熱処理装置をはじめ、半導体搬送装置、検査装置、クリーン環境内の可動ユニットなど、衝撃吸収とクリーン性の両方が求められる箇所におすすめです。
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