形状図
寸法・CAD・価格
単位 : mm
| 品番 | M | s | L | Db | B | d | 荷重(N) min./max. |
1袋入り数 | 質量 (g) |
CAD ダウンロード |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PVFS-5 | 5 | 0.9 | 12 | 3 | 2.5 | 1.5 | 5.7/9.6 | 1 | 0.9 | - |
| PVFS-6 | 6 | 1 | 14 | 3.5 | 3 | 2 | 6.9/13 | 1 | 1.5 | - |
| PVFS-8 | 8 | 1.5 | 16 | 5 | 4 | 2 | 9.5/16 | 1 | 3.5 | - |
| PVFS-10 | 10 | 2 | 19 | 6 | 5 | 3 | 16/28 | 1 | 7 | - |
材質・仕上げ
| PVFS | |
|---|---|
| 本体 | SUS304相当 |
| ボール | SUS440C（硬度55-60HRC） 薄膜フッ素コーティング |
| スプリング | SUS631J1 |
用途
ワークの固定・位置決め真空装置/FPD製造装置/半導体製造装置
特長
- FPD製造装置・半導体製造装置など、真空装置・真空容器内の位置決めに。
- クリーン洗浄・クリーン梱包済み。⇒クリーン洗浄・クリーン梱包サービス
- 薄膜フッ素コーティングにより、クリーン洗浄後でもボールの潤滑性を高めています。
- ガス抜き穴とガス抜き溝が、装置内に溜まったガスを排出しやすくします。
