PVFS-10の材質・仕上げ
PVFS | |
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本体 | SUS304相当 |
ボール | SUS440C(硬度55-60HRC) 薄膜フッ素コーティング |
スプリング | SUS631J1 |
用途
ワークの固定・位置決め真空装置/FPD製造装置/半導体製造装置
PVFS-10の特長
- FPD製造装置・半導体製造装置など、真空装置・真空容器内の位置決めに。
- クリーン洗浄・クリーン梱包済み。⇒クリーン洗浄・クリーン梱包サービス
- 薄膜フッ素コーティングにより、クリーン洗浄後でもボールの潤滑性を高めています。
- ガス抜き穴とガス抜き溝が、装置内に溜まったガスを排出しやすくします。