SCBS-M5-20-VFの形状図
SCBS-M5-20-VFの材質・仕上げ
| SCBS | |
|---|---|
| 本体 | SUSXM7（SUS304相当） |
| ボール | SUS440C（硬度55-60HRC） 薄膜フッ素コーティング |
用途
ワークの固定・位置決め/真空装置/FPD製造装置/半導体製造装置SCBS-M5-20-VFの特長
- FPD製造装置・半導体製造装置など、真空装置・真空容器内のワークの固定に。
- クリーン洗浄・クリーン梱包済み。⇒クリーン洗浄・クリーン梱包サービス
- 薄膜フッ素コーティングにより、クリーン洗浄後でもボールの潤滑性を高めています。
- ガス抜き穴とガス抜き溝が、装置内に溜まったガスを排出しやすくします。
- SCBS-VRは完全ボールによる点接触でワークを確実に固定。
- SCBS-VFは平面ボールによる面接触。ワークを傷つけません。ボールは9°までフレキシブルに回転。相手が傾斜面でも確実にクランプします。
