SCAP-3-ALの形状図
単位 : mm
| 品番 | M(細目) ねじの呼び |
ピッチ | H | D1 | h | a | ta | 推奨 締めつけトルク (N・m) |
適用カバー キャップ用ボルト SNCPS |
質量 (g) |
価格 (円/個) |
税込 価格 |
CAD ダウンロード |
数量(個) | 在庫/非在庫 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCAP-3-AL | M5 | 0.5 | 5 | 7 | 2 | 0.8 | 0.6 | 0.1 | SNCPS-M3 | 0.4 | 510 | 561 | CAD | カート | 在庫品 |
●同一サイズを複数でご注文の場合は、まとめてクリーン梱包します。
SCAP-3-ALの材質・仕上げ
| SCAP-AL カバーキャップ |
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|---|---|
| 本体 | A5056 |
用途
成膜装置/エッチング装置/FPD製造装置/半導体製造装置SCAP-3-ALの特長
- カバーキャップSCAPとカバーキャップ用ボルトSNCPSを組み合わせて使用してください。
- 真空チャンバー内の処理ガスやプラズマからボルト頭部の腐蝕を防止します。
-
SCAPはアルミ合金製とセラミック製を標準化。
SCAP-AL----アルミ合金製
SCAP-CE----セラミック製 - ねじ締結部はステンレス製のため、アルミやセラミックのねじと比べて高い締めつけ力が得られます。
- クリーン洗浄・クリーン梱包済み。⇒クリーン洗浄・クリーン梱包サービス
- インコネル＊1・ハステロイ＊1など、ご希望の材質のカバーキャップも製作いたします。
＊1： インコネルはスペシャルメタルズ社の登録商標です。
＊1： ハステロイはヘインズ社の登録商標です。
使用上の注意
耐蝕性は使用条件により変化します。事前に必ず実際と同じ使用条件でテストしてください。使用方法
カバーキャップ用ボルトSNCPSを締めつけた後、カバーキャップSCAPをSNCPSの頭部をカバーするように取りつけてください。SCAPの締めつけトルクは、表中の推奨締めつけトルクを超えないようにしてください。
